XPS如何測(cè)試和分析？
發(fā)布時(shí)間：2025-06-01 點(diǎn)擊：18
Escalab250的操作軟件叫做Thermo Avantage，可以計(jì)算元素的原子百分含量，它的自動(dòng)擬合功能極具特長，能夠輕松而且精確地分峰。可惜的是文件格式為vgp，并不像Kratos的結(jié)果可以直接被Unifit和XPSpeak直接使用。
測(cè)試時(shí)應(yīng)該想到的幾點(diǎn)。
1.必須對(duì)樣品清理，并用鑷子等接觸。因?yàn)闃悠窐O易污染，你可能會(huì)發(fā)現(xiàn)料想不到的元素。比如，Si來自開煉機(jī)上沾到了白炭黑，Na來自手上的汗水。如果你不確信你的樣品上含有什么元素，不妨對(duì)多種元素進(jìn)行單掃描。
2.掃描的深度只有幾個(gè)納米，測(cè)試的結(jié)果為表面的信息。而樣品表面與內(nèi)部有不同的化學(xué)性質(zhì)，所以表面的元素含量和內(nèi)部含量不同。
3.元素含量太低，會(huì)測(cè)不出來。這個(gè)最低濃度和該元素的效率Si(不是硅)有關(guān)。元素含量越高，曲線越平滑。
4.元素的結(jié)合能必須進(jìn)行電荷校正，通常以C(285eV)、O(532eV)或者某種固定的內(nèi)標(biāo)元素綜合考慮校正電荷量。單以285eV來校準(zhǔn)C1s的結(jié)合能，是容易出錯(cuò)誤的。譬如等離子氧化的樣品表面，低結(jié)合能的C峰降低，被隱藏到高結(jié)合能的C的右下側(cè)了。
5.一些有用的結(jié)合能數(shù)據(jù)，書中有介紹，如果想在網(wǎng)上找到，我推薦Lasurface網(wǎng)站。http://www.lasurface.com/database/liaISOnxps.php
6.測(cè)試給出的相對(duì)含量為半定量結(jié)果，不是非常準(zhǔn)確，可以使用XPSpeak重新對(duì)其計(jì)算。
使用XPSpeak可以對(duì)曲線進(jìn)行擬合，計(jì)算相對(duì)含量
將曲線導(dǎo)出為Excle文件，挑選合適的數(shù)據(jù)保存成txt文件，可以導(dǎo)入XPSpeak。XPSpeak有時(shí)會(huì)提示數(shù)據(jù)錯(cuò)誤，刪除txt文件中的多余文字和空格可以解決這個(gè)問題。這個(gè)問題解決了，心情就很快樂了，因?yàn)槭Ｏ碌墓ぷ骱苋菀捉鉀Q。
在XPSpeak菜單欄中依次選擇【background】【add peak】【optimise region】，去除基底，添加峰位，優(yōu)化optimise就可以了。最后記得保存成.xps文件。擬合的曲線可以通過Data-Export(Spectrum)獲得，有幾個(gè)峰就有幾條擬合的峰擬合曲線。
譬方C1s的結(jié)合能詳細(xì)的列在下表中。
Energy (eV) Element Chemical bound Ref
277.1 C1s Graphite C (fluoration F2-HF sur fibre Torayca) 117
278.4 C1s C-sec (fluoration avec F2-HF sur fibre Torayca) 117
279.2 C1s CH4 136
281.9 C1s carbures 45
282 C1s a single carbide species (C4-) as observed in a-C:H/Al 223
283.3 C1s BaC2 150
283.3 C1s Graphite C (fluoration F2-HF sur fibre C320.00A) 117
283.5 C1s Al-O-C(PET) 56
283.5 C1s C diamant 147
284 C1s après adsorp°de C2H2 sur le Pt(111) à 100K (100K) 37
284.1 C1s C graphite 197
284.1 C1s C-C (CB ou graphite) 226
284.1 C1s après adsorp°de C2H2 sur le Pt(111) à 100K (650K) 37
284.2 C1s HOPG + C/F=20 110
284.22 C1s HOPG 142
284.3 C1s C graphite 150
284.3 C1s C (graphite) 111
284.3 C1s après adsorp°de C2H2 sur le Pt(111) à 100K (390K) 37
284.3 C1s après adsorp°de C2H2 sur le Pt(111) à 100K (1130K) 37
284.3 C1s graphite 114
284.3 C1s plasma: O2/Ar/NH3 122
284.3 C1s 30 mn de traitement plasma oxygène du graphite 122
284.36 C1s graphite (GRA) 91
284.4 C1s Mn(C5H5)2 111
284.4 C1s C ( intercalation : stade 3) 142
284.4 C1s carbone amorphe (échantillon bombardé) (i-C) 91
284.4 C1s Graphite C (fibre C320.00A) 117
284.4 C1s C-sec (fluoration avec F2-HF sur fibre C320.00A) 117
284.42 C1s C for M-GICs (HOPG, regular ) 143
284.5 C1s C graphite (HOPG ) 14
284.5 C1s C graphite (HOPG ) 14
284.5 C1s SnPh4 111
284.5 C1s CB dans le graphite 226
284.5 C1s diamant pur 199
284.5 C1s C graphitique 99
284.5 C1s Pic du C élémentaire 152
284.6 C1s (CH2)n 111
284.6 C1s C 175
284.6 C1s C=C du Polyimide Kapton 15
284.6 C1s C-C , C-H pollution -pyrite n°2- 163
284.6 C1s HOPG 110
284.6 C1s carbone pur 45
附3種元素的積分因子 C1s=1， O1s=2.93， S2p=1.67
常見的控標(biāo)手段有哪些
綠色工廠證書含金量
哪里可以做ul認(rèn)證
深圳天河ISO9001認(rèn)證咨詢公司認(rèn)證條件及下證時(shí)間
ROHS認(rèn)證的分類
CCC證書工廠搬遷變更
ISO9001:2008標(biāo)準(zhǔn)解讀 公司的有些工作需要有人盯牢
iso13485是什么認(rèn)證,ISO13485認(rèn)證證書年檢要求
測(cè)試時(shí)應(yīng)該想到的幾點(diǎn)。
1.必須對(duì)樣品清理，并用鑷子等接觸。因?yàn)闃悠窐O易污染，你可能會(huì)發(fā)現(xiàn)料想不到的元素。比如，Si來自開煉機(jī)上沾到了白炭黑，Na來自手上的汗水。如果你不確信你的樣品上含有什么元素，不妨對(duì)多種元素進(jìn)行單掃描。
2.掃描的深度只有幾個(gè)納米，測(cè)試的結(jié)果為表面的信息。而樣品表面與內(nèi)部有不同的化學(xué)性質(zhì)，所以表面的元素含量和內(nèi)部含量不同。
3.元素含量太低，會(huì)測(cè)不出來。這個(gè)最低濃度和該元素的效率Si(不是硅)有關(guān)。元素含量越高，曲線越平滑。
4.元素的結(jié)合能必須進(jìn)行電荷校正，通常以C(285eV)、O(532eV)或者某種固定的內(nèi)標(biāo)元素綜合考慮校正電荷量。單以285eV來校準(zhǔn)C1s的結(jié)合能，是容易出錯(cuò)誤的。譬如等離子氧化的樣品表面，低結(jié)合能的C峰降低，被隱藏到高結(jié)合能的C的右下側(cè)了。
5.一些有用的結(jié)合能數(shù)據(jù)，書中有介紹，如果想在網(wǎng)上找到，我推薦Lasurface網(wǎng)站。http://www.lasurface.com/database/liaISOnxps.php
6.測(cè)試給出的相對(duì)含量為半定量結(jié)果，不是非常準(zhǔn)確，可以使用XPSpeak重新對(duì)其計(jì)算。
使用XPSpeak可以對(duì)曲線進(jìn)行擬合，計(jì)算相對(duì)含量
將曲線導(dǎo)出為Excle文件，挑選合適的數(shù)據(jù)保存成txt文件，可以導(dǎo)入XPSpeak。XPSpeak有時(shí)會(huì)提示數(shù)據(jù)錯(cuò)誤，刪除txt文件中的多余文字和空格可以解決這個(gè)問題。這個(gè)問題解決了，心情就很快樂了，因?yàn)槭Ｏ碌墓ぷ骱苋菀捉鉀Q。
在XPSpeak菜單欄中依次選擇【background】【add peak】【optimise region】，去除基底，添加峰位，優(yōu)化optimise就可以了。最后記得保存成.xps文件。擬合的曲線可以通過Data-Export(Spectrum)獲得，有幾個(gè)峰就有幾條擬合的峰擬合曲線。
譬方C1s的結(jié)合能詳細(xì)的列在下表中。
Energy (eV) Element Chemical bound Ref
277.1 C1s Graphite C (fluoration F2-HF sur fibre Torayca) 117
278.4 C1s C-sec (fluoration avec F2-HF sur fibre Torayca) 117
279.2 C1s CH4 136
281.9 C1s carbures 45
282 C1s a single carbide species (C4-) as observed in a-C:H/Al 223
283.3 C1s BaC2 150
283.3 C1s Graphite C (fluoration F2-HF sur fibre C320.00A) 117
283.5 C1s Al-O-C(PET) 56
283.5 C1s C diamant 147
284 C1s après adsorp°de C2H2 sur le Pt(111) à 100K (100K) 37
284.1 C1s C graphite 197
284.1 C1s C-C (CB ou graphite) 226
284.1 C1s après adsorp°de C2H2 sur le Pt(111) à 100K (650K) 37
284.2 C1s HOPG + C/F=20 110
284.22 C1s HOPG 142
284.3 C1s C graphite 150
284.3 C1s C (graphite) 111
284.3 C1s après adsorp°de C2H2 sur le Pt(111) à 100K (390K) 37
284.3 C1s après adsorp°de C2H2 sur le Pt(111) à 100K (1130K) 37
284.3 C1s graphite 114
284.3 C1s plasma: O2/Ar/NH3 122
284.3 C1s 30 mn de traitement plasma oxygène du graphite 122
284.36 C1s graphite (GRA) 91
284.4 C1s Mn(C5H5)2 111
284.4 C1s C ( intercalation : stade 3) 142
284.4 C1s carbone amorphe (échantillon bombardé) (i-C) 91
284.4 C1s Graphite C (fibre C320.00A) 117
284.4 C1s C-sec (fluoration avec F2-HF sur fibre C320.00A) 117
284.42 C1s C for M-GICs (HOPG, regular ) 143
284.5 C1s C graphite (HOPG ) 14
284.5 C1s C graphite (HOPG ) 14
284.5 C1s SnPh4 111
284.5 C1s CB dans le graphite 226
284.5 C1s diamant pur 199
284.5 C1s C graphitique 99
284.5 C1s Pic du C élémentaire 152
284.6 C1s (CH2)n 111
284.6 C1s C 175
284.6 C1s C=C du Polyimide Kapton 15
284.6 C1s C-C , C-H pollution -pyrite n°2- 163
284.6 C1s HOPG 110
284.6 C1s carbone pur 45
附3種元素的積分因子 C1s=1， O1s=2.93， S2p=1.67
常見的控標(biāo)手段有哪些
綠色工廠證書含金量
哪里可以做ul認(rèn)證
深圳天河ISO9001認(rèn)證咨詢公司認(rèn)證條件及下證時(shí)間
ROHS認(rèn)證的分類
CCC證書工廠搬遷變更
ISO9001:2008標(biāo)準(zhǔn)解讀 公司的有些工作需要有人盯牢
iso13485是什么認(rèn)證,ISO13485認(rèn)證證書年檢要求