1. ICP-AES主要用于溶液分析，XRF主要用于固體分析;
2.XRF對標準匹配的要求非常高，因此標準的配制及標準曲線制作比較麻煩，但一旦制作成功即可長期使用，而ICP-AES對對標準匹配的要求相對不那么嚴格，標準的配制及標準曲線制作比較簡單;
3. XRF是非破壞性分析，ICP-AES則是破壞性分析;
4. ICP-AES分析線性范圍較寬，達5-6個數量級，可測定從微量到常量的70多種元素;XRF的分析線性范圍相對較窄，主要用于分析常量及低量元素;
5. ICP-AES的應用面比較廣，XRF的應用面不如ICP-AES。
XRF：樣品基本不用前處理;ICP：樣品需要消解為溶液。
XRF：檢出限較高，百分含量級別;ICP：檢出限低，部分元素PPB。
XRF：范圍F-U;ICP：范圍除了惰性，ONHC。
XRF：標樣困難;ICP：標樣容易。
XRF：快捷篩選定性;ICP：精確定量。


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